(Chinese)江丰电子-一家智能制造的先端企业
近日央视财经《中国财经报道》谈到了智能制造、自主核心等制造/工业强国话题。
位于浙江宁波余姚县的江丰电子材料股份有限公司为iPhone 7核心处理器A10芯片提供靶材靶材,是中国电子产品第一次应用在16nm FinFET+技术大规模集群。
芯片是智能装备控制系统的核心,芯片需要靶材上加工。一个印章大小芯片要编制上万米金属导线,这对金属材料的要求之高可想而知。
这个类似饼状的金属材料,行业中叫高纯度溅射靶材,它是半导体芯片制造中的关键材料。目前全球只有不到5家公司掌握制造工艺。
这些金属靶材,最核心的是纯度。制作芯片需要的金属纯度是99.999。因为纯度太高,指甲轻轻一划就会有划痕。
目前,江丰电子的高纯钛金属,已经达到美国、日本的产品性能,完全满足了芯片制造所需要的纯度,打破了日美在这一战略金属材料领域的垄断。
金属靶材的金属原子被一层层建设到芯片上,再利用特殊的工艺把它们切割成金属导线,芯片的信息传输全靠这些金属导线。如今的市面上的很多手机、平板电脑都采用了江丰电子的产品。
11月8日,江丰电子和美国嘉柏微电子材料股份有限公司在上海宣布就半导体集成电路化学机械研磨用(CMP)抛光垫项目进行合作。
2005年成立的宁波江丰电子有限公司就是一家从事研发生产溅射靶材的高科技企业,也是国内唯一从事集成电路芯片制造用超高纯度溅射靶材研发的企业。
已成功并进入台积电、东芝、索尼、富士通等国际主流半导体制造企业。
江丰电子已能够生产超高纯铜、铝、钽、钛等材质的各类靶材产品,并已应用到线宽65纳米至180纳米的当前最先进的半导体制造领域。
溅射靶材是制造半导体芯片所必需的一种极其重要的关键材料,其原理是采用物理气相沉积技术(PVD),用高压加速气态离子轰击靶材,使靶材的原子被溅射出,以薄膜的形式沉积到硅片上,最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。
溅射靶材以超高纯金属(铝、钛、铜、钽等)为原料,具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势,被广泛应用于半导体领域。